文献
J-GLOBAL ID:200902039461476827   整理番号:89A0415444

物理蒸着TiN膜における残留応力,X線弾性定数,格子パラメータ間の相関関係

The relationship between residual stress, X-ray elastic constants and lattice parameters in TiN films made by physical vapor deposition.
著者 (1件):
資料名:
巻: 170  号:ページ: 63-70  発行年: 1989年03月01日 
JST資料番号: B0899A  ISSN: 0040-6090  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
文献の概要を数百字程度の日本語でまとめたものです。
部分表示の続きは、JDreamⅢ(有料)でご覧頂けます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
従来のX線回折(XRD)法で測定した格子パラメータは結晶弾性...
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
文献のテーマを表すキーワードです。
部分表示の続きはJDreamⅢ(有料)でご覧いただけます。
J-GLOBALでは書誌(タイトル、著者名等)登載から半年以上経過後に表示されますが、医療系文献の場合はMyJ-GLOBALでのログインが必要です。
,...
   続きはJDreamIII(有料)にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=89A0415444&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=B0899A") }}
分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
固体の機械的性質一般  ,  X線回折法 

前のページに戻る