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J-GLOBAL ID：200902039461476827   整理番号：89A0415444

物理蒸着TiN膜における残留応力,X線弾性定数,格子パラメータ間の相関関係

The relationship between residual stress, X-ray elastic constants and lattice parameters in TiN films made by physical vapor deposition.

著者 (1件)： PERRY A J (GTE Valenite Corp., MI, USA)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 170  号： 1  ページ： 63-70  発行年： 1989年03月01日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 従来のX線回折(XRD)法で測定した格子パラメータは結晶弾性...

シソーラス用語： 窒化物 ,...

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分類 (2件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  X線回折法  (BK01020I)

タイトルに関連する用語 (7件)： 物理蒸着 ,  TiN膜 ,  残留応力 ,  X線 ,  弾性定数 ,  格子パラメータ ,  相関関係