シリコンウエハ中のバルク少数担体寿命時間測定のための化学的/マイクロ波手法

LUKE K L; CHENG L-J

文献

J-GLOBAL ID：200902040456870981 整理番号：88A0343035

シリコンウエハ中のバルク少数担体寿命時間測定のための化学的/マイクロ波手法

A chemical/microwave technique for the measurement of bulk minority carrier lifetime in silicon wafers.

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資料名：
巻： 135 号： 4 ページ： 957-961 発行年： 1988年04月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

Siウエハ中のバルク少数担体の寿命時間測定に対する化学的/マ...

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固体デバイス計測・試験・信頼性

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