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J-GLOBAL ID：200902040902533056   整理番号：89A0005597

インコヒーレント照明におけるグレーティングイメージングを用いた精密変位測定

Displaccement measurement using grating imaging under incoherent illumination.

著者 (3件)： 羽根一博 (名古屋大 工) ,  伊藤孝 (名古屋大 大学院) ,  服部秀三 (名古屋大 工)
資料名： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
巻： 54  号： 506  ページ： 2487-2490  発行年： 1988年10月 
JST資料番号： F0045B  ISSN： 0387-5024  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： グレティングイメージングとして知られる干渉現象を変位測定の立...

シソーラス用語： インコヒーレント光 ,...

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分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (9件)：

• (1) Uchida, Y., Hattori, S. and Nomura, T., J. Vac. Sci. Technol., B, 5-1(1987),224.
• (2) Patorski, K., Opt. Acta, 30-6(1983),745.
• (3) Cartwrite, S. and Lightman. A. J., Appl. Opt., 25-18(1986),3141.
• (4) Swanson, G. J., and Leith, E. N., J. Opt. Soc. Am., A, 2-6(1985),789.
• (5) Pettigrew, R. M., Proc. soc. Photo-Opt. Instrum.Eng., 136(1977),325.

タイトルに関連する用語 (3件)： 照明 ,  精密 ,  変位測定