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J-GLOBAL ID：200902041550000717   整理番号：89A0302456

微小角入射X線回折法による界面超構造の観測

Interfacial superstructure studied by grazing incidence X-ray diffraction.

著者 (4件)： 秋本晃一 (日本電気 基礎研) ,  水木純一郎 (日本電気 基礎研) ,  広沢一郎 (日本電気 基礎研) ,  松井純爾 (日本電気 基礎研)
資料名： 応用物理  (JSAP International)
巻： 58  号： 1  ページ： 66-71  発行年： 1989年01月 
JST資料番号： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体界面は,実際の半導体デバイスにはよく利用されるにもかか...

シソーラス用語： X線回折 ,...
準シソーラス用語： 超構造

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分類 (2件)： X線回折法  (BK01020I) ,  半導体の表面構造  (BK15030A)

引用文献 (13件)：

• 1) W. C. Marra, P. Eisenberger and A. Y. Cho: J. Appl. Phys. 50 (1979) 6927.
• 2) K. Akimoto, J. Mizuki, T. Tatsumi, N. Aizaki and J. Matsui: Surf. Sci. 183 (1987) L 297.
• 3) K. Akimoto, J. Mizuki, I. Hirosawa and J. Matsui: Proc. 3rd Conf. Synchrotron Radiation Instrumentation, Tsukuba, 1988, Rev. Sci. Instrum. 掲載予定.
• 4) J. Mizuki, K. Akimoto, I. Hirosawa, K. Hirose, T. Mizutani and J. Matsui: J. Vac. Sci. & Technol. B6 (1988) 31.
• 5) P. Drathen, W. Ranke and K. Jacobi: Surf. Sci. 77 (1978) L162.

タイトルに関連する用語 (3件)： 微小角入射X線回折 ,  界面 ,  観測