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J-GLOBAL ID：200902041929342178   整理番号：91A0608814

2個のトンネルユニットを用いたSTM(DTU-STM)による測長機能と位置制御の実証のための結晶格子の活用

Crystalline lattice for metrological applications and positioning control by a dual tunneling-unit scanning tunneling microscope.

著者 (4件)： KAWAKATSU H (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  HOSHI Y (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  HIGUCHI T (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  KITANO H (Matsushita Electric Works, Osaka, JPN)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures  (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures)
巻： 9  号： 2 Pt 2  ページ： 651-654  発行年： 1991年03月 
JST資料番号： E0974A  ISSN： 1071-1023  CODEN： JVTBD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 測長機能と位置制御の実証のために精度良く加工された結晶格子の...

シソーラス用語： 位置決め ,...
準シソーラス用語： ナノメートル

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分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (7件)： トンネル ,  STM ,  測長 ,  位置制御 ,  実証 ,  結晶格子 ,  活用