ZnO:Al透明薄膜の作製

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J-GLOBAL ID：200902042301930115 整理番号：92A0316976

The preparation of transparent ZnO: Al thin films.

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資料名：
巻： 117 号： 1/4 ページ： 939-942 発行年： 1992年02月
JST資料番号： B0942A ISSN： 0022-0248 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

対面ターゲット型スパッタリング法により,ZnO:Al透明導電...

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酸化物薄膜 , 固体デバイス材料

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