BESTWICK T D について
IBM Research Division, New York について
OEHRLEIN G S について
IBM Research Division, New York について
ANGELL D について
IBM Research Division, New York について
Applied Physics Letters について
ケイ素 について
固体デバイス製造技術一般 について
プラズマ応用 について
SF6 について
Si について
低温 について
反応性イオンエッチング について