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J-GLOBAL ID：200902043814014781   整理番号：88A0476600

X線透過法によるシリコン融液の対流の可視化

Direct observation of melt convection of silicon by X-ray radiography.

著者 (4件)： 柿本浩一 (日本電気 基礎研) ,  江口実 (日本電気 基礎研) ,  渡辺久夫 (日本電気 基礎研) ,  日比谷孟俊 (日本電気 基礎研)
資料名： 流れの可視化  (Journal of the Flow Visualization Society of Japan)
巻： 8  号： 30  ページ： 147-150  発行年： 1988年07月 
JST資料番号： S0973B  ISSN： 0287-3605  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体内の不純物分布の高均一化が良い製品に結びつくが,シリコ...

シソーラス用語： 液体金属 ,...

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分類 (1件)： 半導体の結晶成長  (BK13040X)

引用文献 (5件)：

• 1) X. Ruiz, J. Massaons, F. Diaz, M. Aguilo, and S. Gali, J. Cryst. Growth, 79(1986) 92.
• 2) J. R. Carruthers and K. Nassau, J. Cryst. Growth, 39 (1968) 5205.
• 3) D. C. Miller and T. L. Pernell, J. Cryst. Growth, 57 (1982) 253.
• 4) K. Shiroki, J. Cryst. Growth, 40 (1977) 129.
• 5) M. Mihelcic and K. Wingerath J. Cryst. Growth, 82 (1987) 318.

タイトルに関連する用語 (4件)： X線透過 ,  シリコン融液 ,  対流 ,  可視化