立方晶窒化ほう素薄膜の相制御

KESTER D J; MESSIER R

文献

J-GLOBAL ID：200902044055712548 整理番号：92A0630113

立方晶窒化ほう素薄膜の相制御

Phase control of cubic boron nitride thin films.

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資料名：
巻： 72 号： 2 ページ： 504-513 発行年： 1992年07月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

立方,六方相BN膜を,Bを蒸着した後Ar+N<sub>2<...

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その他の無機化合物の薄膜

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