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J-GLOBAL ID：200902045789505778   整理番号：92A0277475

プラズマ支援化学蒸着で作製した過剰炭素をもつSi-C,Ti-C,Ge-C被覆の摩擦係数

Friction coefficient of Si-C, Ti-C and Ge-C coatings with excess carbon formed by plasma-assisted chemical vapour deposition.

著者 (2件)： OGURI K (Toyota Central Research and Development Lab., Inc., Aichi-ken, JPN) ,  ARAI T (Toyota Central Research and Development Lab., Inc., Aichi-ken, JPN)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 208  号： 2  ページ： 158-160  発行年： 1992年02月28日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 摩擦係数(μ)に対するC層内の付加的な原子の効果を明らかにす...

シソーラス用語： プラズマCVD ,...
準シソーラス用語： 黒鉛

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分類 (3件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  気相めっき  (WC08022K)

タイトルに関連する用語 (8件)： プラズマ支援化学蒸着 ,  作製 ,  炭素 ,  Si ,  Ti ,  Ge ,  C被覆 ,  摩擦係数