文献

J-GLOBAL ID：200902045928239441   整理番号：90A0511513

電子線レジストとしてのポリマの電子感度と化学的構造の関係 VII ペンダント1,3-ジオキソラン基を有するビニルポリマの電子感度

Relationship between electron sensitivity and chemical structures of polymers as electron beam resist. VII. Electron sensitivity of vinyl polymers containing pendant 1,3-dioxolan groups.

著者 (5件)： OGUCHI K (Sophia Univ., Tokyo, JPN) ,  SANUI K (Sophia Univ., Tokyo, JPN) ,  OGATA N (Sophia Univ., Tokyo, JPN) ,  TAKAHASHI Y (Dai Nippon Printing Co., Ltd., Saitama, JPN) ,  NAKADA T (Dai Nippon Printing Co., Ltd., Saitama, JPN)
資料名： Polymer Engineering & Science  (Polymer Engineering & Science)
巻： 30  号： 8  ページ： 449-452  発行年： 1990年04月 
JST資料番号： C0640A  ISSN： 0032-3888  CODEN： PYESA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： (2,2-ジメチル-1,3ジオキソラン-4-イル)メチルアク...

シソーラス用語： 電子線レジスト ,...
準シソーラス用語： ジオキソラン誘導体 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=90A0511513&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0640A") }}

分類 (3件)： その他の高分子の反応  (CG03040H) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  各種写真法  (ZA03040M)

タイトルに関連する用語 (6件)： 電子線レジスト ,  ポリマ ,  電子 ,  感度 ,  化学 ,  ジオキソラン