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J-GLOBAL ID:200902046851299191 整理番号:81A0168294
液体金属イオン源とその応用
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著者 (2件):
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難波進
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資料名:
応用物理 (JSAP International)
応用物理 について
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巻:
50
号:
5
ページ:
542-546
発行年:
1981年05月
JST資料番号:
F0252A
ISSN:
0369-8009
CODEN:
OYBSA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
解説
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
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引用文献 (41件):
1) R. L. Seliger and W. P. Fleming: J. Appl. Phys. 45 (1974) 1416.
2) V. E. Krohn and G. R. Ringo: Appl. Phys. Lett. 27 (1975) 479.
3) R. L. Seliger, J. W. Ward, V. Wang and R. L. Kubena: Appl. Phys. Lett. 34 (1979) 310.
4) R. L. Seliger, R. L. Kubena, R. D. Olney, J. W. Ward and V. Wang: J. Vac. Sci. & Technol. 16 (1979) 1610.
5) L. W. Swanson, G. A. Schwind and A. E. Bell: J. Appl. Phys. 51 (1980) 3453.
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