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J-GLOBAL ID：200902047605006165   整理番号：89A0001433

超高精度直線運動機構 II 5自由度の制御

An ultra precision straight motion system. (2nd report). Five degrees of freedom control of Motion.

著者 (4件)： 松本秀樹 (東京工大 大学院) ,  山口城治 (東京工大 大学院) ,  青山尚之 (静岡大 工) ,  下河辺明 (東京工大 精密工研)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 54  号： 10  ページ： 1945-1950  発行年： 1988年10月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 能動空気軸受を導入した標題機構の原理,構成を示し,これまでに...

シソーラス用語： 直線運動 ,...
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】

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分類 (1件)： 運動機構  (QB01080K)

引用文献 (4件)：

• 1) 渡辺一郎, 青山尚之, 下河辺 明 : 能動空気軸受-浮上方向の位置と振動の超精密制御, 精密工学会誌, 54, 2 (1988) 329.
• 2) 青山尚之, 渡辺一郎, 堆 浩太郎, 下河辺 明 : 超精密長尺直線運動機構の開発, 昭和62年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集 (1987) 121.
• 3) A. Shimokohbe, H. Aoyama and I. Watanabe : A High Precision Straight-motion System, Prec. Engg., 8, 3, (1986).
• 4) 下河辺 明, 青山尚之, 片桐創一, 梅沢清彦 : 静圧直線案内のベルト駆動 (第 1 報) -直線運動精度, 精密工学会誌, 53, 6 (1987) 915.

タイトルに関連する用語 (2件)： 直線運動機構 ,  5自由度