活性クラスタ衝撃による薄膜

HABERLAND H; KARRAIS M; MALL M; THURNER Y

文献

J-GLOBAL ID：200902049951263142 整理番号：92A0778795

活性クラスタ衝撃による薄膜

Thin films from energetic cluster impact: A feasibility study.

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資料名：
巻： 10 号： 5 ページ： 3266-3271 発行年： 1992年09月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

マグネトロンスパッタ放電と気体凝集源を組合せて金属クラスタお...

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金属薄膜

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