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J-GLOBAL ID：200902051519193120   整理番号：88A0458762

エッチングした単軸回転の水晶板の表面プロファイルの数学的シミュレーションのためのベクトル解析

A vectorial analysis for the numerical simulation of the surface profiles of etched singly-rotated quartz plates.

著者 (3件)： TELLIER C R (Ecole Nationale Sup<span style=text-decoration:overline>e ́</span>rieure de M<span style=text-decoration:overline>e ́</span>canique et des Microtechniques, Besancon, FRA) ,  VIALLE N (Ecole Nationale Sup<span style=text-decoration:overline>e ́</span>rieure de M<span style=text-decoration:overline>e ́</span>canique et des Microtechniques, Besancon, FRA) ,  VATERKOWSKI J L (Ecole Nationale Sup<span style=text-decoration:overline>e ́</span>rieure de M<span style=text-decoration:overline>e ́</span>canique et des Microtechniques, Besancon, FRA)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 34  号： 4  ページ： 417-439  発行年： 1988年06月 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記水晶板のふっ化二アンモニウム溶液中でのエッチングプロファ...

シソーラス用語： 高周波発振器 ,...

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分類 (1件)： 発振回路  (NC05020Y)

タイトルに関連する用語 (7件)： エッチング ,  単軸 ,  水晶板 ,  プロファイル ,  数学 ,  シミュレーション ,  ベクトル解析