文献
J-GLOBAL ID:200902051876383085
整理番号:91A0005854
真空系の表面を洗浄するための高速二酸化炭素スノー
High velocity carbon dioxide snow for cleaning vacuum system surfaces.
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著者 (2件):
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資料名:
巻:
8
号:
5
ページ:
3881-3883
発行年:
1990年09月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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分類 (2件):
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真空技術
, 固体デバイス製造技術一般
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