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J-GLOBAL ID:200902051876383085   整理番号:91A0005854

真空系の表面を洗浄するための高速二酸化炭素スノー

High velocity carbon dioxide snow for cleaning vacuum system surfaces.
著者 (2件):
資料名:
巻:号:ページ: 3881-3883  発行年: 1990年09月 
JST資料番号: C0789B  ISSN: 0734-2101  CODEN: JVTAD6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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液体CO2を膨張させて作ったドライアイ...
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分類 (2件):
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真空技術  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (3件):
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