スパッタ法によるMgAl<sub>2</sub>O<sub>4</sub>スピネルの合成

文献

J-GLOBAL ID：200902052394893163 整理番号：91A0234293

スパッタ法によるMgAl₂O₄スピネルの合成

Study on films of MgAl₂O₄ spinel synthesized by rf-sputtering method.

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資料名：
巻： 27 ページ： 15-20 発行年： 1991年01月
JST資料番号： G0175A ISSN： 0286-2743 CODEN： NKKSA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

MgAl₂O₄ス...

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酸化物薄膜

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