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J-GLOBAL ID:200902054090971497   整理番号:91A0646822

ガウス型レーザビームの平行走査による透過光型エッジ位置検出法 第3報 光軸方向に曲率をもつ円筒形エッジの場合

Optical Detecting Method of Edge Position with a Gaussian Laser Beam. 3rd Report. A Case of Cylindrical Edge with Curvature in the Direction of the Beam Axis.
著者 (4件):
資料名:
巻: 68th  号: Pt C  ページ: 329-331  発行年: 1991年03月 
JST資料番号: X0588A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (1件):
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長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器 

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