C-N薄膜の成長とキャラクタリゼーション

CHEN M Y; LIN X; DRAVID V P; CHUNG Y W; WONG M S; SPROUL W D

文献

J-GLOBAL ID：200902054158260993 整理番号：93A0455479

C-N薄膜の成長とキャラクタリゼーション

Growth and characterization of C-N thin films.

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資料名：
巻： 54/55 号： 1/3 Pt 2 ページ： 360-364 発行年： 1992年11月23日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

直流マグネトロンスパッタリング法による薄膜の形成と密着性,耐...

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炭素とその化合物 , その他の無機化合物の薄膜 , 気相めっき

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