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J-GLOBAL ID：200902054468689396   整理番号：92A0687623

Polysilicon microgripper.

著者 (4件)： KIM C-J (Univ. California, CA, USA) ,  PISANO A P (Univ. California, CA, USA) ,  MULLER R S (Univ. California, CA, USA) ,  LIM M G (Xerox Palo Alto Research Center, CA, USA)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 33  号： 3  ページ： 221-227  発行年： 1992年06月 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)