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J-GLOBAL ID：200902055613016296   整理番号：90A0606340

シリコンウエハ上に集積したマイクロ化学分析システム

A micro chemical analyzing system integrated on a silicon wafer.

著者 (3件)： NAKAGAWA S (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  SHOJI S (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ESASHI M (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1990  (Proceedings. IEEE Micro Electro Mechanical Systems, 1990)
ページ： 89-94  発行年： 1990年 
JST資料番号： K19900617  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコンウエハ上にマイクロマシニングにより三方向バルブを作製...

シソーラス用語： 方向制御弁 ,...

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (4件)： シリコンウエハ ,  集積 ,  マイクロ ,  化学分析システム