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J-GLOBAL ID:200902056376671132   整理番号:89A0210957

ゲート長0.1μmの超伝導FET

0.1-μm Gate-length superconducting FET.
著者 (8件):
資料名:
巻: 10  号:ページ: 61-63  発行年: 1989年02月 
JST資料番号: B0344B  ISSN: 0741-3106  CODEN: EDLEDZ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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Si基板上にセルフアライン工程で酸化物絶縁ゲートを備え,ソー...
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分類 (2件):
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トランジスタ  ,  Josephson接合・素子 
タイトルに関連する用語 (3件):
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