ゲート長0.1μmの超伝導FET

NISHINO T; HATANO M; HASEGAWA H; MURAI F; KURE T; HIRAIWA A; YAGI K; KAWABE U

文献

J-GLOBAL ID：200902056376671132 整理番号：89A0210957

ゲート長0.1μmの超伝導FET

0.1-μm Gate-length superconducting FET.

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資料名：
巻： 10 号： 2 ページ： 61-63 発行年： 1989年02月
JST資料番号： B0344B ISSN： 0741-3106 CODEN： EDLEDZ 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

Si基板上にセルフアライン工程で酸化物絶縁ゲートを備え,ソー...

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トランジスタ , Josephson接合・素子

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