文献

J-GLOBAL ID：200902060391705431   整理番号：92A0595974

Anodic bonding for integrated capacitive sensors.

著者 (3件)： ESASHI M (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  URA N (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  MATSUMOTO Y (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 5th  ページ： 43-48  発行年： 1992年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)