文献
J-GLOBAL ID：200902062796960636   整理番号：92A0656117

Detection of reactions and changes in thin film morphology using stress measurements.

著者 (3件)：
GARDNER D S

GARDNER D S について

(Intel Corp., California)

Intel Corp., California について

, 
LONGWORTH H P

LONGWORTH H P について

(Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts)

Massachusetts Inst. Technology, Massachusetts について

, 
FLINN P A

FLINN P A について

(Intel Corp., California)

Intel Corp., California について


資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)

Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films について


巻： 10  号： 4 Pt 2  ページ： 1426-1441  発行年： 1992年07月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

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