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J-GLOBAL ID：200902064047348919   整理番号：88A0187172

能動空気軸受 浮上方向の位置と振動の超精密制御

An active air bearing. Ultra-precision control of floating position and vibration.

著者 (3件)： 渡辺一郎 (東京工大 大学院) ,  青山尚之 (東京工大 精密工研) ,  下河辺明 (東京工大 精密工研)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 54  号： 2  ページ： 329-334  発行年： 1988年02月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 空気静圧軸受の非接触性を損うことなく,浮上保持の振動減衰性を...

シソーラス用語： 空気軸受 ,...
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】

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分類 (1件)： 軸受  (QB01020W)

引用文献 (4件)：

• 1) 青山尚之, 渡辺一郎, 下河辺 明 : 高精度な直線運動に関する研究(第3報)-5自由度制御直動システム, 精密機械, 51, 12(1985)2277.
• 2) 金井 彰, 野村武彦, 橋本福雄, 宮下政和 : 静圧空気軸受のすきま制御による微細位置決め機構(第3報)-剛性と動特性の実験的検討, 昭和57年度精機学会春季大会学術講演会講演論文集(1982)322.
• 3) 荒木光彦 : 2自由度制御系-1-PID・微分先行型・I-PD制御系の統一的見方などについて, システムと制御, 29, 10(1985)649.
• 4) 北森俊行 : 制御対象の部分的知識に基づく制御系の設計法, 計測自動制御学会論文集, 15, 4(1979)549.

タイトルに関連する用語 (3件)： 空気軸受 ,  浮上 ,  精密制御