三次元プロファイルシミュレーションにおけるフォトレジストのバルク像効果

文献

J-GLOBAL ID：200902065638729551 整理番号：92A0185465

Bulk image effects of photoresist in three-dimensional profile simulation.

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資料名：
巻： 10 号： 4 ページ： 389-400 発行年： 1991年12月
JST資料番号： H0945A ISSN： 0332-1649 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

3D露光と3D現像シミュレーションの計算的方法を述べた。この...

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固体デバイス一般

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