集積回路製作技術によるマイクロモータの摩擦の考察

文献

J-GLOBAL ID：200902065902955735 整理番号：90A0638022

Frictional study of IC-processed micromotors.

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資料名：
巻： 21 号： 1/3 ページ： 180-183 発行年： 1990年02月
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

可変容量マイクロモータの動的な解析を定数項と位置の関数項から...

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電動機 , サーボ機構

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