文献
J-GLOBAL ID:200902068694899515
整理番号:83A0379647
ナノメートル以下の範囲での直線変位の絶対測定のための新しい光学干渉計
A new optical interferometer for absolute measurement of linear displacement in the subnanometer range.
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著者 (2件):
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資料名:
巻:
22
号:
4
ページ:
L233-L235
発行年:
1983年04月
JST資料番号:
F0599B
ISSN:
0021-4922
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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結晶格子定数の絶対測定用に開発した新しい干渉計を示す。光学系...
シソーラス用語:
シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (2件):
分類
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干渉測定と干渉計
, 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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