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J-GLOBAL ID：200902069209218633   整理番号：81A0101346

ジボランからのTiB₂の化学蒸着

The chemical vapor deposition of TiB₂ from diborane.

著者 (2件)： PIERSON H O (Sandia National Lab., N.M.) ,  MULLENDORE A W (Sandia National Lab., N.M.)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 72  号： 3  ページ： 511-516  発行年： 1980年10月15日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 600~900°Cの水素ふん囲気中でTiCl<sub>4<...

シソーラス用語： 化学蒸着 ,...

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分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (3件)： ジボラン ,  TiB2 ,  化学蒸着