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J-GLOBAL ID:200902069779153128   整理番号:89A0514553

パルス状アルゴンマイクロ波誘起プラズマの励起温度測定

Excitation temperature measurements of a pulse-operated argon microwave-induced plasma.
著者 (4件):
資料名:
巻: 38  号:ページ: 288-299  発行年: 1989年08月 
JST資料番号: F0007A  ISSN: 0038-7002  CODEN: BUKKAT  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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時間分解法を用いて標題を検討。測定系はマイクロ波キャビティ,...
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分類 (2件):
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金属,合金の物理分析  ,  プラズマ応用 

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