文献

J-GLOBAL ID：200902070591870360   整理番号：90A0881398

シリコンマイクロバルブとその応用

Silicon microvalves and their applications.

著者 (1件)： 江刺正喜
資料名： 日本ロボット学会誌  (ロボ學)
巻： 8  号： 4  ページ： 459-464  発行年： 1990年08月 
JST資料番号： Y0482A  ISSN： 0289-1824  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロマシーニングにより微小なセンサやアクチュエータを製造...

シソーラス用語： ケイ素 ,...

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分類 (2件)： 配管材料,弁  (QD05020E) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (8件)：

• 1) K. E. Petersen, “Silicon as a Mechanical Material”, Proc. IEEE, Vol.70, No.5, (1982) 420-457.
• 2) C. D. Fung, P. W. Cheung, W. H. Ko & D. G. Fleming, “Micromachining and Micropackaging of Transducers”Elsever Amsterdam (1985)
• 3) M. Esashi, “Normally Close Microvalve and Micropump Fabricated on a Silicon Wafer”, Sensors and Actuators, Vol.20, No.1/2, (1990) , pp.163-169.
• 4) S. Nakagawa, S. Shoji, M. Esashi, “A Micro Chemical Analyzing System Integrated on a Silicon Wafer”, Proc. IEEE MEMS Workshop, (1990-Napa Valley USA) , pp.89-94.
• 5) 江刺, 庄子: “マイクロバルブとセンサの集積化システム”, 電気学会センサ技術研究会, ST-87-1, , (1987)

タイトルに関連する用語 (1件)： 応用