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J-GLOBAL ID：200902072068416143   整理番号：90A0538621

薄膜マルチチップ・モジュールのためのベンゾシクロブテン層間誘電体

Benzocyclobutene interlayer dielectrics for thin film multichip modules.
著者 (6件)：
JOHNSON R W

JOHNSON R W について

(Auburn Univ., AL)

Auburn Univ., AL について

, 
PHILLIPS T L

PHILLIPS T L について

(Auburn Univ., AL)

Auburn Univ., AL について

, 
WEIDNER W K

WEIDNER W K について

(Auburn Univ., AL)

Auburn Univ., AL について

, 
HAHN S F

HAHN S F について

(Dow Chemical USA, MI)

Dow Chemical USA, MI について

, 
BURDEAUX D C

BURDEAUX D C について

(Dow Chemical USA, MI)

Dow Chemical USA, MI について

, 
TOWNSEND P H

TOWNSEND P H について

(Dow Chemical USA, MI)

Dow Chemical USA, MI について


資料名：
IEEE Transactions on Components, Hybrids, and Manufacturing Technology  (IEEE Transactions on Components, Hybrids, and Manufacturing Technology)

IEEE Transactions on Components, Hybrids, and Manufacturing Technology について


巻： 13  号： 2  ページ： 347-352  発行年： 1990年06月 
JST資料番号： H0255B  ISSN： 0148-6411  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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薄膜マルチチップ用層間誘電体としてベンゾシクロブテンから誘導...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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高密度実装

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マルチチップ

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分類 (2件)：
分類
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固体デバイス材料 
(NC03020K)

固体デバイス材料 について

,  物理的性質一般 
(YH02021U)

物理的性質一般 について

タイトルに関連する用語 (5件)：
タイトルに関連する用語
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薄膜

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マルチ

マルチ について

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モジュール

モジュール について

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ベンゾシクロブテン

ベンゾシクロブテン について

, 
誘電体

誘電体 について


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