文献

J-GLOBAL ID：200902073063018731   整理番号：87A0162751

高感度非接触粗さ計の開発

Development of a high resolution sensor for surface roughness.

著者 (5件)： 三井公之 (機械技研) ,  坂井誠 (東京精密) ,  木塚慶次 (岡本工作機械製作所) ,  小沢則光 (機械技研) ,  河野嗣男 (金沢大 工)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 53  号： 2  ページ： 328-333  発行年： 1987年02月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超精密加工分野で有用と考える標題計として半導体レーザを光源と...

シソーラス用語： 表面粗さ ,...

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分類 (1件)： 測光と光検出器一般  (BD07031F)

引用文献 (3件)：

• 1) 松林宣秀 : 光ディスク用光学系, 精密機械, 50, 12(1984)1850.
• 2) 小沢則光ほか : 非接触光学式微細形状測定ヘッド(HIPOSS-1)-超精密測定技術の研究, 精密工学会誌, 52, 12(1986)2080.
• 3) 水野定夫ほか : 平面度測定機, 昭和58年度精機学会秋季大会学術講演会講演論文集(1983)413.

タイトルに関連する用語 (4件)： 高感度 ,  非接触 ,  粗さ ,  開発