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J-GLOBAL ID：200902074400223276   整理番号：87A0007905

DCマグネトロンスパッタリングによる薄膜ディスクの異方性に由来する信号波形の変化

Anisotropy induced signal waveform modulation of DC magnetron sputtered thin film disks.

著者 (2件)： TENG E (Lin Data Corp., CA, USA) ,  BALLARD N (Lin Data Corp., CA, USA)
資料名： IEEE Transactions on Magnetics  (IEEE Transactions on Magnetics)
巻： 22  号： 5  ページ： 579-581  発行年： 1986年09月 
JST資料番号： A0339B  ISSN： 0018-9464  CODEN： IEMGAQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Co基合金膜の異方性について磁場方位の影響,入射角度の低角度...

シソーラス用語： 磁気異方性 ,...

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分類 (1件)： 電子・磁気・光学記録  (NC06020F)

タイトルに関連する用語 (5件)： DCマグネトロンスパッタリング ,  薄膜 ,  ディスク ,  異方性 ,  信号波形