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J-GLOBAL ID：200902075684976011   整理番号：92A0609000

レーザ誘起表面電磁波エッチングによるn-InPの周期的サブミクロンドット構造の作製

Fabrication of Periodic Submicron Dot Structures of N-InP by Laser-Induced Surface Electromagnetic Wave Etching.

著者 (4件)： KUMAGAI H (Inst. Physical anc Chemical Research, Wako) ,  EZAKI M (Keio Univ., Yokohama) ,  TOYODA K (Inst. Physical anc Chemical Research, Wako) ,  OBARA M (Keio Univ., Yokohama)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 31  号： 7B  ページ： L928-L930  発行年： 1992年07月15日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記構造の量子ドットの形状は円錐形で,半値径は約0.2μmで...

シソーラス用語： リン化インジウム ,...

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分類 (1件)： 半導体の表面構造  (BK15030A)

タイトルに関連する用語 (5件)： レーザ誘起 ,  表面電磁波 ,  エッチング ,  InP ,  作製