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J-GLOBAL ID:200902076047689420   整理番号:90A0568794

不揮発性メモリ応用のための薄いポリ間誘電体の信頼性研究

Reliability study of thin inter-poly dielectrics for non-volatile memory application.
著者 (8件):
資料名:
巻: 28th  ページ: 132-144  発行年: 1990年 
JST資料番号: A0631A  ISSN: 1541-7026  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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薄いポリ酸化物の本質的限界は欠陥密度と端部漏れ電流にある。こ...
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分類 (2件):
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記憶装置  ,  半導体集積回路 
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