電子ビーム映像投写器サブミクロン競争に適する  電子ビームリソグラフィー

WARD R

文献

J-GLOBAL ID：200902076650902767 整理番号：82A0077721

電子ビーム映像投写器サブミクロン競争に適する電子ビームリソグラフィー

Electron-beam projector suits up for submicrometer race.

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 54 号： 22 ページ： 144-149 発行年： 1981年11月03日
JST資料番号： B0455B ISSN： 0013-5070 CODEN： ELECA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

最近の研究開発により,従来は映像投写ひずみのためにVLSIへ...

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固体デバイス製造技術一般

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