OOSTRA D J について
FOM-Inst. Atomic and Molecular Physics, Amsterdam, NLD について
HARING A について
FOM-Inst. Atomic and Molecular Physics, Amsterdam, NLD について
DE VRIES A E について
FOM-Inst. Atomic and Molecular Physics, Amsterdam, NLD について
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Microelectronics and Nanometer Structures について
二酸化ケイ素 について
スパッタリング について
ふん囲気 について
SiO2 について
スパッタリング について