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J-GLOBAL ID:200902077177810856   整理番号:87A0183235

超ミクロ押込み硬さ計とその薄膜への応用

An ultramicro indentation hardness tester and its application to thin films.
著者 (2件):
資料名:
巻: 43  号:ページ: 52-56  発行年: 1987年01月 
JST資料番号: C0445A  ISSN: 0024-7154  CODEN: LUENA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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分類 (1件):
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固体デバイス計測・試験・信頼性 
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