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J-GLOBAL ID：200902077177810856   整理番号：87A0183235

超ミクロ押込み硬さ計とその薄膜への応用

An ultramicro indentation hardness tester and its application to thin films.

著者 (2件)： YANAGISAWA M (NEC Corp., Kawasaki, JPN) ,  MOTOMURA Y (NEC Corp., Kawasaki, JPN)
資料名： Lubrication Engineering  (Lubrication Engineering)
巻： 43  号： 1  ページ： 52-56  発行年： 1987年01月 
JST資料番号： C0445A  ISSN： 0024-7154  CODEN： LUENA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： それぞれの分解能が荷重0.1μN,押込み深さ4mmであるよう...

シソーラス用語： 半導体薄膜 ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (3件)： 押込み硬さ ,  薄膜 ,  応用