陽極酸化を使った新しい電極分離技術とSAW交差指トランスデューサへの応用

YAMANOUCHI K; MEGURO T; MATSUMOTO K

文献

J-GLOBAL ID：200902077322142891 整理番号：92A0554687

陽極酸化を使った新しい電極分離技術とSAW交差指トランスデューサへの応用

New Electrode Separation Technology Using Anodic Oxidation and Application to SAW Interdigital Transducers.

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資料名：
巻： 39 号： 3 ページ： 447-452 発行年： 1992年05月
JST資料番号： H0369A ISSN： 0885-3010 CODEN： ITUCER 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

Al電極端の陽極酸化法を使った狭空隙(NG)交差指トランスデ...

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弾性表面波デバイス

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