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J-GLOBAL ID:200902077371935406   整理番号:93A0332189

重水素アニールした酸化物中の放射線照射後の界面トラップ増大の時間依存性

The Time-Dependence of Post-Irradiation Interface Trap Build-up in Deuterium-Annealed Oxides.
著者 (2件):
資料名:
巻: 39  号: 6 Pt 1  ページ: 2220-2229  発行年: 1992年12月 
JST資料番号: C0235A  ISSN: 0018-9499  CODEN: IETNAE  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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照射したMOS素子中の界面トラップN<sub>it</sub...
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分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
半導体の放射線による構造と物性の変化  ,  半導体の格子欠陥 

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