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J-GLOBAL ID：200902078079042901   整理番号：90A0122888

磁気光学媒体用水素含有SiCN保護膜

Hydrogen-containing SiCN protective films for magneto-optical media.

著者 (5件)： MISAKI H (TOSOH Corp., Kanagawa, JPN) ,  ASANO M (TOSOH Corp., Kanagawa, JPN) ,  KASAI K (TOSOH Corp., Kanagawa, JPN) ,  FUKUDA M (TOSOH Corp., Kanagawa, JPN) ,  IMAMURA N (TOSOH Corp., Kanagawa, JPN)
資料名： IEEE Transactions on Magnetics  (IEEE Transactions on Magnetics)
巻： 25  号： 5  ページ： 4030-4032  発行年： 1989年09月 
JST資料番号： A0339B  ISSN： 0018-9464  CODEN： IEMGAQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 稀土類-遷移金属薄膜の保護層として三種のSiC-SiN膜を検...

シソーラス用語： 磁気記録 ,...

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分類 (1件)： 電子・磁気・光学記録  (NC06020F)

タイトルに関連する用語 (4件)： 磁気光学 ,  媒体 ,  水素 ,  保護膜