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J-GLOBAL ID：200902078090068831   整理番号：92A0192928

高安定・高性能・微小AlGaAs/GaAs HBT IC 製作技術

Advanced IC Fabrication Technology Using Reliable, Small-size, and High-speed AlGaAs/GaAs HBTs.

著者 (6件)： 入戸野巧 (NTT LSI研) ,  永田公一 (NTT LSI研) ,  山内佳紀 (NTT LSI研) ,  牧村隆司 (NTT LSI研) ,  伊藤弘 (NTT LSI研) ,  中島長明 (NTT LSI研)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 91  号： 429(ICD91 179-191)  ページ： 61-66  発行年： 1992年01月21日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 酸素注入E/B接合分離技術と炭素ドープ薄層ベースを用いた標記...

シソーラス用語： バイポーラトランジスタ ,...
準シソーラス用語： HBT

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分類 (1件)： トランジスタ  (NC03070N)

タイトルに関連する用語 (7件)： 高性能 ,  微小 ,  AlGaAs ,  GaAs ,  HBT ,  IC ,  製作