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J-GLOBAL ID：200902078880642163   整理番号：91A0504270

SnO₂薄膜センサのPd添加効果

The effects of Pd-additive to SnO₂ thin film sensor.

著者 (5件)： 小林圭二 (鳥取大 工) ,  竹歳修 (鳥取大 工) ,  原田久将 (鳥取大 工) ,  小西亮介 (鳥取大 工) ,  笹倉博 (鳥取大 工)
資料名： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
巻： 34  号： 3  ページ： 247-249  発行年： 1991年03月 
JST資料番号： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： SnO₂およびSnO<sub>2</s...

シソーラス用語： 酸化スズ ,...
準シソーラス用語： メタン ,...

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分類 (3件)： 半導体結晶の電気伝導  (BM03043X) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  その他の固体デバイス  (NC03150A)

引用文献 (1件)：

• 1) 白鳥昌之, 表面科学, 第10巻第11号 (1989) pp31-38.

タイトルに関連する用語 (4件)： SnO2 ,  薄膜センサ ,  PD ,  添加効果