大気圧からの真空チャンバ排気中における水エーロゾル汚染の減少

O’HANLON J F; SHIEH J-J

文献

J-GLOBAL ID：200902080297229430 整理番号：92A0050691

大気圧からの真空チャンバ排気中における水エーロゾル汚染の減少

Reduction of water aerosol contamination during pumping of a vacuum chamber from atmospheric pressure.

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資料名：
巻： 9 号： 5 ページ： 2802-2807 発行年： 1991年09月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

大気圧からの排気中に断熱膨張による温度低下は水エーロゾル形成...

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固体デバイス製造技術一般

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