圧電抵抗素子用多結晶炭化けい素膜

文献

J-GLOBAL ID：200902080804135419 整理番号：91A0234339

Polycrystalline silicon carbide films for piezoresistive elements.

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資料名：
巻： 2 号： 4 ページ： 207-216 発行年： 1991年
JST資料番号： L0338A ISSN： 0914-4935 CODEN： SENMER 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

圧力センサ材料としての多結晶SiC膜の作製と評価に関する実験...

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半導体薄膜 , 圧電デバイス

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