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J-GLOBAL ID：200902083166716661   整理番号：90A0563766

表面粗さSTM

Scanning tunneling microscope to reveal surface roughness.

著者 (4件)： 林正和 (東芝) ,  石田文彦 (東芝) ,  小松忠紀 (東芝) ,  津田展宏 (計量研)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 56  号： 5  ページ： 873-878  発行年： 1990年05月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 工業応用を目的として測定領域を広くしたSTMについて開発結果...

シソーラス用語： シミュレーションモデル ,...
準シソーラス用語： STM

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分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (8件)：

• 1) M. Green, M. Richter, J. Kortright, T. Barbee, R. Carr and I. Lindau : Scanning Tunneling Microscopy of X-ray Optics, J. Vac. Sci. Technol., A, 6, 2, (1988) 428.
• 2) S. T. Smith, D. G. Chetwynd and D. K. Bowen : Design and Assessment of Monolithic High Precision Translation Mechanisms, J. Phys. E : Sci. Instrum., 20, (1987) 977.
• 3) 津田展宏, 山田啓文, 石田文彦, 宮下正之, 山口正高 : 大ストロークSTM, 精密工学会誌, 55, 1 (1989) 146.
• 4) P. Muralt, D. W. Pohl and W. Denk : Wide-range, Low-operating-voltage, Bimorph STM : Application as Potentiometer, IBM J. Res. Develop., 30, 5, (1986) 443.
• 5) J. R. Matey, R. S. Crandall, B. Brycki and G. A. D. Briggs : Bimorph-driven x-y-z Translation Stage for Scanned Image Microscopy, Rev. Sci. Instrum., 58, 4, (1987) 567.

タイトルに関連する用語 (2件)： 表面粗さ ,  STM