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J-GLOBAL ID：200902087048070698   整理番号：89A0049582

タングステンボート蒸発気化/誘導結合プラズマ発光分析法による半導体材料中のウラン,トリウムの定量

Determination of uranium and thorium in semiconductor materials by tungsten-boat vaporization/ICP-AES.

著者 (2件)： 岡田章 (東芝 総研) ,  平手直之 (東芝 総研)
資料名： 分析化学
巻： 37  号： 11  ページ： T205-T208  発行年： 1988年11月 
JST資料番号： F0008A  ISSN： 0525-1931  CODEN： BNSKAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体材料中の微量V,Thを高感度で分析するため,イオン交換...

シソーラス用語： タングステン ,...

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分類 (2件)： 無機物質中の元素の物理分析  (CC03022H) ,  集積回路一般  (NC03161C)

引用文献 (6件)：

• 1) T. C. May, M. H. Woods : “16th Proceedings of 1978 International Reliability Physics Symposium”, p. 33 (1978).
• 2) 大西 寛, 樋田行雄 : 分析化学, 14, ll41(1965).
• 3) 本間中八郎, 黒沢 賢, 川島 泉, 山脇正隆, 田中尚武 : 電子通信学会論文誌, J63-C, 653(1980).
• 4) 工藤 冽, 重松俊男, 米沢洋樹, 小林健二, 穴山 汎 : 研究実用化報告, 30, 2093, 1981).
• 5) 黒沢雅夫, 高橋純一, 千葉光一, 長谷川哲也, 原口紘〓, 不破敬一郎 : 日本分析化学会第31年会講演要旨集, p.443(1982).

タイトルに関連する用語 (9件)： タングステン ,  ボート ,  蒸発 ,  気化 ,  誘導結合プラズマ発光分析法 ,  半導体材料 ,  ウラン ,  トリウム ,  定量