熱電励起シリコン梁機械的共振器

OTHMAN M B; BRUNNSCHWEILER A

文献

J-GLOBAL ID：200902087699451010 整理番号：87A0513553

熱電励起シリコン梁機械的共振器

Electrothermally excited silicon beam mechanical resonators.

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資料名：
巻： 23 号： 14 ページ： 728-730 発行年： 1987年07月02日
JST資料番号： A0887A ISSN： 0013-5194 CODEN： ELLEAK 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

多結晶シリコン/SiO₂/単結晶シリコ...

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共振器

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