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J-GLOBAL ID：200902088242458733   整理番号：87A0202909

水晶のエッチングされた形状の実験的研究と数値的シミュレーション

Experimental study and numerical simulation of quartz crystal etched figures.

著者 (3件)： TELLIER C R (E.N.S.M.M., Besancon, FRA) ,  VIALLE N (E.N.S.M.M., Besancon, FRA) ,  VATERKOWSKI J L (E.N.S.M.M., Besancon, FRA)
資料名： Proceedings of the IEEE International Frequency Control Symposium  (Proceedings of the IEEE International Frequency Control Symposium)
巻： 40th  ページ： 76-85  発行年： 1986年 
JST資料番号： C0958A  ISSN： 1075-6787  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ふっ化溶液による水晶のエッチング現象について述べた。エッチン...

シソーラス用語： 水晶振動子 ,...

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分類 (2件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (5件)： 水晶 ,  エッチング ,  実験的研究 ,  数値 ,  シミュレーション